Ein technischer Vergleich von UV-LED-Belichtungssystemen und Quecksilberdampflampen in der Lithografie und UV-Härtung mit Fokus auf spektrale Stabilität, Lebensdauer, Energieeffizienz und Prozesskontrolle in der Halbleiterfertigung…
Breitbandige NUV-Lichtquellen sind die Zugpferde in der Lithografie und der UV-Härtung. Die genaue Quantifizierung ihrer Strahlung ist für die Prozessstabilität sowohl in der Klein- als auch in der Großserienfertigung unerlässlich und gewährleistet die Reproduzierbarkeit der...
In der Lithografie hat der technische Fortschritt die Grenzen des Machbaren immer wieder verschoben. Doch ein altes Relikt hält sich bis heute: die Quecksilberdampflampe. Einst wegen ihrer...
Eine sorgfältige Regelung der Betriebstemperatur ist entscheidend für die Maximierung der Leistung, Effizienz und Lebensdauer von UV-LEDs (Ultraviolet Light-Emitting Diodes). In diesem Artikel werden ...
UV-Härtung ist ein Verfahren, bei dem ultraviolettes (UV) Licht Klebstoffe, Beschichtungen und Lacke schnell aushärtet. Einer der Schlüsselfaktoren für eine erfolgreiche UV-Härtung ist die Auswahl des richtigen ...
Unsere Light Engines sind extrem leistungsstarke UV-LED-Spot-Lichtquellen, die für die maximale Leistung ausgelegt sind, die für Präzisionsanwendungen mit hoher Leistung benötigt wird. Für einen effizienten ...
Die derzeitigen Illuminatoren in UV-Lithografiesystemen sind entweder Quecksilberdampflampen, Leuchtdioden (LED) oder auch Laser. Excimer-Laser sind die einzigen Lichtquellen, die sich für die Lithografie im tiefen UV ...
